Analisis pengaruh Kecepatan putar dan jumlah lapisan Terhadap struktur kristal dan ketebalan Lapisan tipis bzt Yang ditumbuhkan dengan metode sol gel

Oleh :
Alfan Muttaqin - M0207025 - Fak. MIPA

Telah dilakukan penumbuhan lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 menggunakan metode sol gel di atas substrat Si (100) yang disiapkan dengan spin coater. Penumbuhan lapisan tipis ini menggunakan variasi kecepatan putar sebesar 2000 rpm, 3000 rpm dan 4000 rpm. Selain itu dilakukan juga variasi jumlah lapis yaitu 5 lapis, 10 lapis dan 15 lapis. Sampel dikarakterisasi menggunakan peralatan XRF, XRD dan SEM. Hasil karakterisasi menunjukkan kecepatan putar spin coater tidak mempengaruhi struktur kristal lapisan tipis, ukuran butirnya dan komposisi unsur yang terdapat pada lapisan tipis serta intensitas sinar-X yang terdifraksi tetapi mempengaruhi ketebalan lapisan tipis. Semakin tinggi kecepatan putar maka ketebalan makin kecil. Jumlah lapisan tidak mempengaruhi struktur kristal dan ukuran butir lapisan tipis BZT tetapi mempengaruhi komposisi unsur, intensitas sinar-X yang terdifraksi dan ketebalan lapisan tipis. Semakin banyak jumlah lapis maka komposisi unsur yang terdapat pada substrat makin banyak, intensitas sinar- X yang terdifraksi makin tinggi dan ketebalan makin besar. Kata Kunci : BZT, sol gel, spin coating, struktur kristal, komposisi unsur, ukuran butir. Have been done BaZr0,2Ti0,8O3 thin film using sol gel method on Si (100) substrates prepared by spin coater. Growth of thin film using a variation of the rotational speed of 2000 rpm, 3000 rpm and 4000 rpm. In another variations are film number of 5 layers, 10 layers and 15 layers. Characterization sample performed using XRF, XRD and SEM. Characterization results shows that the rotational speed of spin coater does not affect the crystalline structure of thin films, grain size and composition of the elements contained in a thin film and the intensity of the diffracted X-rays but affects the thickness of a thin layer. The higher rotational speed made the thickness smaller. The number of layers does not affect the crystalline structure and grain size of BZT thin film but it affects the elemental composition, the intensity of the diffracted X-rays and thickness of thin films. The more number of layers the composition elements contained in the substrate are increase, the intensity of diffracted X-rays are higher and thickness are greater. Keywords: BZT, sol gel, spin coating, number of layers, crystal structure, unsure composition, grain size.