Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Zirconium Titanat Menggunakan Metode Sol Gel Dengan Variasi Suhu Annealing Dan Jumlah Lapisan

Oleh :
Wahyu Eko Prastyo - M0207065 -

Lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 telah dibuat dengan metode sol gel yang disiapkan dengan spin coating. Sampel lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 dibuat dengan variasi jumlah lapisan yaitu 5 lapis, 10 lapis, dan 15 lapis serta variasi suhu annealing pada 700oC, 800oC, dan 900oC. Sampel kemudian dikarakterisasi menggunakan XRF, XRD, dan SEM. Hasil karakterisasi menggunakan XRF menunjukkan, makin banyak jumlah lapisan makin banyak unsur-unsur penyusun lapisan tipis BZT yaitu Ba, Zr, dan Ti yang terdeposit di atas substrat Si. Hasil karakterisasi menggunakan XRD menunjukkan, makin banyak jumlah lapisan dan makin tinggi suhu annealing maka intensitas difraksi seluruh orientasi kristal BZT kecuali (001) mengalami kenaikan. Sedangkan hasil karakterisasi menggunakan SEM menunjukkan, makin tinggi suhu annealing makin besar ukuran butir lapisan tipis BZT. Kata kunci : Barium Zirconium Titanat, suhu annealing, sol gel, XRD, XRF, SEM BaZr0,2Ti0,8O3 thin films have been made by sol gel method prepared by spin coating. Samples BaZr0,2Ti0,8O3 thin films made with of the variation number of layers from 5 layers, 10 layers, 15 layers and annealing temperature variations 700 °C, 800 oC and 900 oC. Then characterized using XRF, XRD, and SEM. Characterization using XRF results show, the number of layers more constituent elements Ba, Zr, Ti of the BZT thin films is deposited on the Si substrate. Characterization using the XRD results show, the more number of layers and the higher annealing temperature the intensity of diffracted X-rays except (001) are higher. While the results of characterization using SEM show that the higher annealing temperature the grain size of BZT thin layer are greater. Keywords : Barium Zirconium Titanate, Annealing temperature, sol gel, XRD, XRF, SEM