Analisa Pengaruh Jumlah Lapisan Tipis Bzt yang Ditumbuhkan dengan Metode Sol Gel terhadap Ketebalan dan Sifat Listrik (Kurva Histerisis)

Oleh :
Nika Zulianingsih - M0207047 - Fak. MIPA

Nika Zulianingsih Jurusan Fisika, Fakultas MIPA, Universitas Sebelas Maret, Surakarta nick.zulianingsih@gmail.com ABSTRAK Penelitian ini dilakukan dengan penumbuhan lapisan tipis BZT menggunakan metode sol gel diatas substrat Pt/Si yang disiapkan dengan spin coater. Penumbuhan lapisan tipis ini dilakukan variasi jumlah lapis 1 lapis, 2 lapis dan 3 lapis pada suhu 8000C, holding time 2, 3, dan 4 jam dengan heating rate 30C/menit. Sampel dikarakterisasi menggunakan peralatan X-ray Diffraction (XRD) Merk Bruker, Scanning Electron Microscopy (SEM) JEOL JSM6360LA, Keithley Electrometer. Hasil karakterisasi XRD dapat dikatakan bahwa penumbuhan lapisan tipis BZT diatas substrat Pt/Si telah berhasil dilakukan. Hal ini terlihat dengan munculnya puncak BZT untuk penumbuhan diatas substrat Pt/Si. Hasil karakterisasi SEM menunjukkan permukaan lapisan tipis BZT telah rata di atas substrat Pt/Si. Hasil uji sifat listrik menggunakan Keithley Electrometer, memperlihatkan kurva histerisis yang mengindikasikan bahwa lapisan tipis BZT bersifat ferroelektrik. Sampel 3 lapis memperlihatkan nilai polarisasi tinggi dan medan koersif (Ps =9,666 µC/cm2, Pr =8,497 µC/cm2, Psat=10,783 µC/cm2 Ec=20,482 kV/m). Kata Kunci : BZT, sol gel, spin coating, ketebalan,sifat listrik.