Analisis Pengaruh Heating Rate terhadap Tingkat Kristal dan Ukuran Butir Lapisan Tipis Bzt yang Ditumbuhkan dengan Metode Sol Gel

Oleh :
Novi Widyawati - M0207049 - Fak. MIPA

Metode Chemical Solution Deposition atau Sol Gel merupakan salah satu metode penumbuhan lapisan tipis. Lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 telah berhasil ditumbuhkan menggunakan metode sol gel di atas substrat Pt/Si yang disiapkan dengan spin coater. Lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 dibuat menggunakan variasi heating rate 10C/menit, 30C/menit dan 50C/menit dengan suhu annealing 8000C untuk variasi jumlah lapis yaitu 3 dan 5 lapis. Sampel lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 dikarakterisasi menggunakan XRD dan SEM. Hasil karakterisasi menggunakan XRD menunjukkan semakin bertambahnya heating rate menunjukkan bertambahnya intensitas yang semakin tinggi tingkat kekristalannya sedangkan karakterisasi menggunakan SEM menunjukkan heating rate semakin kecil atau laju pemanasan makin kecil maka ukuran butir semakin besar dan ketebalan pada lapisan tipis Barium Zirkonium Titanat (BaZr0,2Ti0,8O3) makin besar. Kata Kunci : Barium Zirkonium Titanat, heating rate, sol gel, spin coating