Perbandingan Struktur Kristal Dan Morfologi Lapisan Tipis Barium Titanat (Bt) Dan Barium Zirkonium Titanat (Bzt) Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Sol-Gel

Oleh :
Rohana Taqiyah - M0207012 - Fak. MIPA

Fabrikasi lapisan tipis BT (BaTiO3), BZT (BaZr0,35Ti0,65O3) dan BZT (BaZr0,50Ti0,50O3) telah dilakukan di atas substrat Pt/Si menggunakan metode sol gel yang disiapkan dengan spin coater. Variasi jumlah lapis dilakukan pada pembuatan lapisan tipis BT serta BZT dan dikarakterisasi menggunakan peralatan XRD (X-ray Diffraction) dan SEM (Scanning Electron Microscopy). Hasil karakterisasi menunjukkan, seiring bertambahnya jumlah lapis maka ketebalan cenderung bertambah dan kenaikan nilai intensitas sinar-X cenderung makin tinggi. Penambahan zirkonium mengakibatkan pergeseran sudut 2θ yang semakin kecil dibandingkan dengan BT. Lapisan tipis BaTiO3 ukuran butirnya dapat ditentukan dan mempunyai bentuk morfologi yang lebih bagus jika dibandingkan dengan lapisan tipis BZT (BaZr0,35Ti0,65O3 dan BaZr0,50Ti0,50O3). Pada lapisan tipis BZT terlihat mengelompok dan permukaannya terlihat kasar atau tidak rata, sehingga ukuran butir tidak dapat ditentukan karena penambahan Zr menyebabkan larutan menggumpal. Kata kunci : BT, BZT, sol gel, spin coating, XRD, SEM