Pembuatan Lapisan Tipis Barium Zirkonium Titanat (Bzt) Menggunakan Metode Sol Gel Dengan Variasi Holding Time Pada Proses Annealing

Oleh :
Merry Yuliani - M0207043 - Fak. MIPA

Telah dibuat lapisan tipis BZT di atas substrat Pt/Si menggunakan metode sol gel yang disiapkan dengan spin coater. Konsentrasi larutan 0,5 M, suhu annealing 800°C, heating rate 3°C/menit, kecepatan putar 4000 rpm selama 30 detik. Variasi holding time 1,2,3, dan 4 jam serta variasi jumlah lapis 3 dan 5. Karakterisasi dilakukan menggunakan XRD untuk analisa struktur kristal dan menggunakan SEM EDX untuk analisa komposisi, ukuran butir, dan ketebalan lapisan tipis BZT yang dibuat. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa holding time berpengaruh pada tingkat kekristalan dan ukuran butir lapisan tipis BZT. Semakin lama holding time maka ukuran butir makin besar. Jumlah lapis berpengaruh terhadap komposisi unsur, ketebalan lapisan tipis dan tingkat kekristalan. Semakin banyak jumlah lapis maka komposisi unsur pembentuk BZT semakin banyak dan lapisan semakin tebal serta intensitas sinar-X yang terdifraksi makin besar. Lapisan tipis BZT yang optimal dibuat pada proses annealing dengan holding time 4 jam dengan jumlah lapis 5. Kata Kunci: sol gel, spin coater, holding time, annealing, heating rate