Analisis Pengaruh Variasi Dopan Lantanum Terhadap Struktur Kristal Dan Morfologi Lapisan Tipis Barium Strontium Titanat

Oleh :
Lia Setyaningsih - M0208041 - Fak. MIPA

Chemical Solution Deposition (CSD) atau metode sol gel merupakan salah satu teknik penumbuhan lapisan tipis. Lapisan tipis Barium Strontium Titanat (BST) dan BST doping Lantanum (BSLT) telah berhasil ditumbuhkan menggunakan metode sol gel di atas substrat Pt/Si yang disiapkan dengan spin coater. Lapisan tipis BST dan BSLT dibuat menggunakan parameter penumbuhan seperti banyaknya jumlah lapisan 3 lapis, molaritas 0,5 M, suhu annealing 800oC dengan laju pemanasan (heating rate) 5oC/menit dan waktu tahan (holding time) 3 jam. Variasi perbandingan komposisi mol Barium (Ba) dan Strontium (Sr) yaitu 0,7:0,3; 0,8:0,2 dan 0,9:0,1 serta variasi perbandingan % mol dopan Lantanum (La) sebesar 1%, 3% dan 5%. Lapisan tipis BST dan BSLT dikarakterisasi menggunakan X-Ray Difraction (XRD) dan Scanning Electron Microscopy (SEM) yang dilengkapi dengan Energy Dispersive X-Ray (EDX). Sudut difraksi (2θ) pada kurva XRD bergeser ke kiri (semakin kecil) seiring dengan bertambahnya komposisi mol Ba dan variasi % mol dopan La. Parameter kisi BST dan BSLT menggunakan penghalusan program GSAS menunjukkan bahwa lapisan tipis BST dan BSLT mempunyai struktur tetragonal. Dari analisa SEM-EDX, seiring dengan bertambahnya variasi komposisi mol Ba dan variasi % mol dopan La tidak mempengaruhi ketebalan dan komposisi unsur-unsur penyusunnya, tetapi mempengaruhi ukuran butir lapisan tipis. Semakin besar parameter tersebut menyebabkan ukuran butirnya menjadi kecil. Hasil karakterisasi XRD dan SEM-EDX menampilkan bahwa lapisan tipis BST dan BSLT telah terdeposisi di atas substrat Pt/Si. Kata Kunci : BST, BSLT, sol gel, spin coating, parameter kisi, XRD, SEM