Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Ferrum Titanat (Bft) Dengan Metode Sol Gel

Oleh :
Tira Ikhwani - M0209053 - Fak. MIPA

Lapisan tipis Barium Titanat (BT) dan BT doping Ferrum (BFT) telah berhasil ditumbuhkan menggunakan metode sol gel di atas substrat Pt/Si yang disiapkan dengan spin coater. Lapisan tipis BT dan BFT dibuat dengan jumlah lapis yaitu 3 lapis dengan variasi perbandingan persen mol dopan Ferrum (Fe) sebesar 1%, 3%, 5% dan 10%. Sampel lapisan tipis BT dan BFT dikarakterisasi menggunakan X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM), Atomic Force Microscopy (AFM) dan kurva histerisis. Hasil karakterisasi menggunakan XRD menunjukkan bahwa seiring dengan bertambahnya variasi % mol dopan Ferrum (Fe) maka sudut difraksinya bergeser ke kiri (semakin kecil). Hasil penghalusan General Structure Analysis System (GSAS) didapatkan nilai parameter kisi a, b dan c mengalami perbesaran dari parameter kisi awal. Nilai parameter kisi yang dihasilkan dari penghalusan software GSAS menujukkan bahwa lapisan tipis BT dan BFT mempunyai struktur tetragonal. Hasil pengujian menggunakan SEM menunjukkan ketebalan rata-rata dari lapisan tipis BT dan BFT sekitar 350 nm. Hasil AFM menunjukkan nilai kekasaran (roughness) lapisan tipis BT dan BFT semakin kasar seiring bertambahnya mol doping Fe. Lapisan tipis BT dan BFT merupakan bahan ferroelektrik yang ditandai dengan terbentuknya kurva histerisis. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa lapisan tipis BT dan BFT telah terdeposisi di atas substrat Pt/Si.