Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui pembuatan surface texturing menggunakan teknik dry etching dengan plasma Argon pada kaca fluorine-doped tin oxide (FTO). Penelitian awal menggunakan tegangan plasma etching yang fluktuatif dengan range 296–376 Volt. Terdapat tiga sampel pada penelian ini, yaitu sampel tanpa etching sebagai referensi, dan sampel dengan waktu plasma etching 3 menit dan 10 menit. Karakterisasi menggunakan AFM diperoleh hasil bahwa morfologi permukaan dan roughness sampel berubah. Karakterisasi menggunakan spektrometer UV-Vis diperoleh hasil plasma etching dapat meningkatkan transmitansi. Penelitian selanjutnya menggunakan tegangan 335-336 V selama plasma etching. Di dalam penelitian ini, teknik dry etching dilakukan dengan menggunakan holder berpola sebagai hard mask yang dipasang diatas permukaan FTO untuk memfabrikasi Surface texturing.Ada dua jenis sampel dalam penelitian ini, yaitu sampel berpola dan sampel tidak berpola. Hasil karakterisasi menggunakan instrument SEM menunjukkan bahwa morfologi sampel sedikit berubah setelah proses dry etching menggunakan holder berpola. Sedangkan morfologi sampel tanpa pola hampir tidak berubah. Hasil karakterisasi menggunakan spektrometer UV-Vis menunjukkan bahwa waktu dry etching pada sampel berpola dapat meningkatkan transmitansinya. Hal ini mengindikasikan adanya surface texturing pada sampelberpola. Sheet resistance pada sampel berpola dengan waktu dry etching 3, 6 dan 10 menit adalah 0,813 ± 0,010 O/sq, 0,816 ± 0,011 O/sq dan 1,646 ± 0,035 O/sq.
Kata kunci: FTO, dry etching, transmitansi, SEM, sheet resistance
