ABSTRAK
Deposisi lapisan CoFe2O4 telah dilakukan dengan metode spin coating. Substrat yang digunakan adalah subtrat kaca preparat yang sebelumnya telah dipanaskan pada suhu 700ºC selama 30 menit. Dilakukan variasi jumlah pelapisan dan suhu annealing. Hasil karakterisasi SEM menunjukkan ketebalan lapisan tunggal CoFe2O4 sekitar 750 nm. Karakterisasi XRD menegaskan bahwa struktur sampel lapisan CoFe2O4 adalah inverse spinel fcc dengan puncak intensitas tertinggi berada pada orientasi bidang kristal (311). Ketebalan lapisan dan suhu annealing mempengaruhi karakteristik magnetik dan listrik lapisan CoFe2O4. Medan koersif terbesar yaitu Hc = 5,24 kOe pada lapisan tunggal yang di annealing dengan suhu 700ºC. Perubahan impedansi listrik menunjukkan respon sampel lapisan CoFe2O4 terhadap kehadiran gas etanol pada suhu ruang. Nilai respon gas cenderung meningkat dengan variasi jumlah pelapisan dan suhu annealing lapisan CoFe2O4. Hal ini menegaskan bahwa lapisan CoFe2O4 memungkinkan untuk diaplikasikan sebagai sensor gas etanol.
Kata kunci : lapisan CoFe2O4, spin coating, magnetik, listrik, gas etanol.
