ABSTRAK
Lapisan Tipis Barium Titanat (BaTiO3) telahdibuat menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) di atas substrat Pt/Si dengan memakai spin coater. Variasi % mol doping Sr dan Zr yaitu sebesar 1%, 2%, 3%, 4?n 5%. Lapisan tipis BST dan BZT dikarakterisasi menggunakan X-Ray Difraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM) serta pengujian kurva histerisis menggunakan metode sawyer tower. Sudut difraksi (2?) pada kurva XRD bergeser ke kanan (semakin besar) seiring dengan bertambahnya % mol doping Sr dan bergeser ke kiri (semakin besar) seiring dengan bertambahnya % mol doping Zr. Parameter kisi BST dan BZT menggunakan penghalusan program GSAS menunjukkan bahwa lapisan tipis BST dan BZT mempunyai struktur tetragonal. Dari analisa SEM, seiring dengan bertambahnya variasi % mol doping Sr dan Zr tidak mempengaruhi ketebalan, tetapi mempengaruhi ukuran butir lapisan tipis. Lapisan tipis BST dan BZT merupakan bahan feroelektrik dimana telah terbentuk kurva histerisis. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa lapisan tipis BST dan BZT telah terdeposisi di atas substrat Pt/Si.
Kata Kunci : BT, BST, BZT,CSD, XRD, SEM, sawyer tower
