Kajian pengukuran ketebalan lapisan tipis berbasis interferometrik

Oleh :
Dodi Rasanjani - M0205021 - Fak. MIPA

ABSTRAK Salah satu sifat penting untuk diketahui dari suatu lapisan tipis adalah ketebalan dari lapisan tersebut. Hasil penelitian ini melaporkan suatu metode dan konstruksi dari suatu sistem optik menggunakan dasar Interferometer Michelson, yang memungkinkan dapat diaplikasikan untuk menentukan ketebalan dari suatu lapisan tipis setelah ditumbuhkan diatas sebuah substrat kaca dan alumunium. Suatu teknik pengukuran berbasis pada perbandingan dari dua pola interferensi yang dihasilkan oleh sinar laser dengan panjang gelombang 632.8 nm. Perbandingan antara dua pola dari interferensi yang dibentuk oleh substrat dengan dan tanpa lapisan diambil ke dalam satu perhitungan untuk mengukur ketebalan dari lapisan tipis. Metode yang telah dilakukan ini dapat mengukur ketebalan lapisan tipis dalam rentang (90-218) nm. Kata Kunci : Interferensi, beda lintasan optis, perubahan fase, interfrensi pada lapisan tipis,