Telah dibuat perangkat lunak untuk mengubah format data keluaran XRD (X-Ray Diffraction) Shimadzu 6000 sesuai dengan format data masukan GSAS (General Structure Analysis System) menggunakan bahasa pemrograman Free Pascal versi 2.0.2. Analisa pola difraksi sinar-X pada material Nd6Fe13Sn, Nd6Fe13Ge dan Nd6Fe13Si dengan metode Rietveld GSAS dilakukan secara tidak simultan. Setelah penghalusan disimpulkan struktur kristalnya tetragonal dan diperoleh nilai residu serta konstanta kisi. Material Nd6Fe13Si nilai residunya Rp = 1,21%, Rwp = 1,57%, dan  2 = 1,984 untuk 10 variabel dan konstanta kisi a = 8,0528(28) Å dan c = 22,812(7) Å. Material Nd6Fe13Ge nilai residunya Rp = 1,29%, Rwp = 1,74%, dan  2 = 3,958 untuk 9 variabel dan konstanta kisi a = 8,0588(10) Å dan c = 22,889(4) Å. Material Nd6Fe13Sn nilai residunya Rp = 1,74%, Rwp = 2,30%, dan  2 = 8,989 untuk 10 variabel dan konstanta kisi a = 8,0941(5) Å dan c = 23,3894(25) Å. Kata kunci : difraksi sinar X, metode Rietveld, GSAS, Nd6Fe13Si, Nd6Fe13Ge dan Nd6Fe13Sn