Penelitian ini bertujuan untuk : (1) Mengetahui prioritas tiap kriteria kesesuaian lokasi untuk pengembangan kawasan industri di Kabupaten Karanganyar, (2) Mengetahui kesesuaian lokasi kawasan industri di Kabupaten Karanganyar, (3) Menganalisis perbandingan dari pola kawasan industri pada RTRW di Kabupaten Karanganyar dengan peta hasil proses penentuan lokasi pengembangan kawasan industri menggunakan SIG. Metode penelitian yang digunakan ialah deskriptif kuantitatif dengan Kecamatan sebagai unit analisisnya. Ruang lingkup penelitian meliputi 17 Kecamatan di Kabupaten Karanganyar. Hasil dari penelitian yaitu, (1) besaran bobot parameter penentuan lokasi kawasan industri menggunakan metode analisis AHP (Analytical Hierarchy Process) dengan hasil 38,9% untuk jarak terhadap jalan; 16,8%, jarak terhadap sungai; 11,8% kemiringan lereng; 10,8% penggunaan lahan (landuse); 7,1% ketersediaan tenaga kerja; 6,5% jarak terhadap pasar; 5,6% jarak terhadap terminal; dan 2,5% jenis tanah. (2) Tingkat kesesuaian lokasi kawasan industri di Kabupaten Karanganyar yaitu S1 (Sangat Sesuai) memiliki luas 2543,97 ha, S2 (Sesuai) memiliki luas 23173,47 ha, S3 (Cukup Sesuai) memiliki luas 24424,62 ha, N1 (Kurang Sesuai) memiliki luas 20860,41 ha dan N2 (Tidak Sesuai) memiliki luas 8993,31 ha. (3) Wilayah yang sesuai berdasarkan pola ruang kawasan industri pada RTRW Kabupaten Karanganyar adalah Kecamatan Gondangrejo, Colomadu, Kebakkramat, Jaten dan Tasikmadu. Melalui pengurangan luas lahan pola ruang kawasan industri pada RTRW Kabupaten Karanganyar terhadap peta kesesuaian lahan kawasan industri Kabupaten Karanganyar, terdapat potensi pengembangan lahan kawasan industri seluas 2304,59 ha.