Kedelai (Glycine max) merupakan bahan baku tempe paling dominan dengan persentase penggunaan sebesar 57%. Permasalahan keterbatasan kedelai sebagai bahan baku tempe dan peningkatan permintaan konsumen terhadap tempe memerlukan inovasi untuk menggantikan atau substitusi kedelai dalam pembuatan tempe. Limbah kecambah kacang hijau (Vigna radiata L.) hasil dari proses perendaman kecambah kacang hijau berpotensi dijadikan sebagai bahan baku substitusi atau pengganti kedelai dalam pembuatan tempe, karena limbah kecambah kacang hijau diduga memiliki kandungan gizi yang tidak jauh berbeda dengan kacang hijau. Penelitian ini bertujuan untuk mengkaji pengaruh substitusi limbah kecambah kacang hijau (Vigna radiata L.) terhadap karakteristik fisik (kekerasan), kimia (kadar air, kadar protein total, kadar protein terlarut, aktivitas antioksidan), dan sensoris (uji kesukaan) tempe kedelai (Glycine max). Penelitian dilakukan dengan Rancangan Acak Lengkap (RAL) satu faktor. Data analisis fisik dan kimia dianalisis menggunakan metode One Way ANOVA dilanjutkan uji DMRT (α=0,05) jika terdapat perbedaan yang signifikan, sedangkan data analisis sensoris dianalisis menggunakan metode Kruskal Wallis dilanjutkan uji Mann-Whitney (α=0,05) jika terdapat perbedaan yang signifikan. Hasil penelitian menunjukkan bahwa substitusi limbah kecambah kacang hijau pada tempe kedelai dapat meningkatkan kadar air dan aktivitas antioksidan, namun dapat menurunkan nilai kekerasan, kadar protein total, kadar protein terlarut, dan tingkat kesukaan panelis secara overall. Hasil analisis fisik nilai kekerasan tempe kedelai substitusi limbah kecambah kacang hijau berada pada kisaran 8,12-11,23 N. Hasil analisis kimia kadar air tempe kedelai substitusi limbah kecambah kacang hijau berada pada kisaran 63,13-65,18%, kadar protein total 21,49-44,27%, kadar protein terlarut 9,11-12,01%, dan aktivitas antioksidan 39,87-44,22%.