Analisis pengaruh Kecepatan putar dan jumlah lapisan Terhadap struktur kristal dan ketebalan Lapisan tipis bzt Yang ditumbuhkan dengan metode sol gel
Penulis Utama
:
Alfan Muttaqin
NIM / NIP
:
M0207025
×Telah dilakukan penumbuhan lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 menggunakan
metode sol gel di atas substrat Si (100) yang disiapkan dengan spin coater.
Penumbuhan lapisan tipis ini menggunakan variasi kecepatan putar sebesar 2000
rpm, 3000 rpm dan 4000 rpm. Selain itu dilakukan juga variasi jumlah lapis yaitu
5 lapis, 10 lapis dan 15 lapis. Sampel dikarakterisasi menggunakan peralatan
XRF, XRD dan SEM.
Hasil karakterisasi menunjukkan kecepatan putar spin coater tidak
mempengaruhi struktur kristal lapisan tipis, ukuran butirnya dan komposisi unsur
yang terdapat pada lapisan tipis serta intensitas sinar-X yang terdifraksi tetapi
mempengaruhi ketebalan lapisan tipis. Semakin tinggi kecepatan putar maka
ketebalan makin kecil. Jumlah lapisan tidak mempengaruhi struktur kristal dan
ukuran butir lapisan tipis BZT tetapi mempengaruhi komposisi unsur, intensitas
sinar-X yang terdifraksi dan ketebalan lapisan tipis. Semakin banyak jumlah lapis
maka komposisi unsur yang terdapat pada substrat makin banyak, intensitas sinar-
X yang terdifraksi makin tinggi dan ketebalan makin besar.
Kata Kunci : BZT, sol gel, spin coating, struktur kristal, komposisi unsur, ukuran
butir.
Have been done BaZr0,2Ti0,8O3 thin film using sol gel method on Si (100)
substrates prepared by spin coater. Growth of thin film using a variation of the
rotational speed of 2000 rpm, 3000 rpm and 4000 rpm. In another variations are
film number of 5 layers, 10 layers and 15 layers. Characterization sample
performed using XRF, XRD and SEM.
Characterization results shows that the rotational speed of spin coater does
not affect the crystalline structure of thin films, grain size and composition of the
elements contained in a thin film and the intensity of the diffracted X-rays but
affects the thickness of a thin layer. The higher rotational speed made the
thickness smaller. The number of layers does not affect the crystalline structure
and grain size of BZT thin film but it affects the elemental composition, the
intensity of the diffracted X-rays and thickness of thin films. The more number of
layers the composition elements contained in the substrate are increase, the
intensity of diffracted X-rays are higher and thickness are greater.
Keywords: BZT, sol gel, spin coating, number of layers, crystal structure, unsure
composition, grain size.
×
Penulis Utama
:
Alfan Muttaqin
Penulis Tambahan
:
-
NIM / NIP
:
M0207025
Tahun
:
2011
Judul
:
Analisis pengaruh Kecepatan putar dan jumlah lapisan Terhadap struktur kristal dan ketebalan Lapisan tipis bzt Yang ditumbuhkan dengan metode sol gel
