Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Zirconium Titanat Menggunakan Metode Sol Gel Dengan Variasi Suhu Annealing Dan Jumlah Lapisan
Penulis Utama
:
Wahyu Eko Prastyo
NIM / NIP
:
M0207065
×Lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 telah dibuat dengan metode sol gel yang
disiapkan dengan spin coating. Sampel lapisan tipis BaZr0,2Ti0,8O3 dibuat dengan
variasi jumlah lapisan yaitu 5 lapis, 10 lapis, dan 15 lapis serta variasi suhu
annealing pada 700oC, 800oC, dan 900oC. Sampel kemudian dikarakterisasi
menggunakan XRF, XRD, dan SEM.
Hasil karakterisasi menggunakan XRF menunjukkan, makin banyak jumlah
lapisan makin banyak unsur-unsur penyusun lapisan tipis BZT yaitu Ba, Zr, dan
Ti yang terdeposit di atas substrat Si. Hasil karakterisasi menggunakan XRD
menunjukkan, makin banyak jumlah lapisan dan makin tinggi suhu annealing
maka intensitas difraksi seluruh orientasi kristal BZT kecuali (001) mengalami
kenaikan. Sedangkan hasil karakterisasi menggunakan SEM menunjukkan, makin
tinggi suhu annealing makin besar ukuran butir lapisan tipis BZT.
Kata kunci : Barium Zirconium Titanat, suhu annealing, sol gel, XRD, XRF,
SEM
BaZr0,2Ti0,8O3 thin films have been made by sol gel method prepared by
spin coating. Samples BaZr0,2Ti0,8O3 thin films made with of the variation number
of layers from 5 layers, 10 layers, 15 layers and annealing temperature variations
700 °C, 800 oC and 900 oC. Then characterized using XRF, XRD, and SEM.
Characterization using XRF results show, the number of layers more
constituent elements Ba, Zr, Ti of the BZT thin films is deposited on the Si
substrate. Characterization using the XRD results show, the more number of
layers and the higher annealing temperature the intensity of diffracted X-rays
except (001) are higher. While the results of characterization using SEM show
that the higher annealing temperature the grain size of BZT thin layer are greater.
Keywords : Barium Zirconium Titanate, Annealing temperature, sol gel, XRD,
XRF, SEM
×
Penulis Utama
:
Wahyu Eko Prastyo
Penulis Tambahan
:
-
NIM / NIP
:
M0207065
Tahun
:
2011
Judul
:
Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Zirconium Titanat Menggunakan Metode Sol Gel Dengan Variasi Suhu Annealing Dan Jumlah Lapisan
