Analisis Pengaruh Variasi Dopan Lantanum Terhadap Struktur Kristal Dan Morfologi Lapisan Tipis Barium Strontium Titanat
Penulis Utama
:
Lia Setyaningsih
NIM / NIP
:
M0208041
×Chemical Solution Deposition (CSD) atau metode sol gel merupakan salah
satu teknik penumbuhan lapisan tipis. Lapisan tipis Barium Strontium Titanat
(BST) dan BST doping Lantanum (BSLT) telah berhasil ditumbuhkan
menggunakan metode sol gel di atas substrat Pt/Si yang disiapkan dengan spin
coater. Lapisan tipis BST dan BSLT dibuat menggunakan parameter penumbuhan
seperti banyaknya jumlah lapisan 3 lapis, molaritas 0,5 M, suhu annealing 800oC
dengan laju pemanasan (heating rate) 5oC/menit dan waktu tahan (holding time) 3
jam. Variasi perbandingan komposisi mol Barium (Ba) dan Strontium (Sr) yaitu
0,7:0,3; 0,8:0,2 dan 0,9:0,1 serta variasi perbandingan % mol dopan Lantanum
(La) sebesar 1%, 3% dan 5%. Lapisan tipis BST dan BSLT dikarakterisasi
menggunakan X-Ray Difraction (XRD) dan Scanning Electron Microscopy
(SEM) yang dilengkapi dengan Energy Dispersive X-Ray (EDX).
Sudut difraksi (2θ) pada kurva XRD bergeser ke kiri (semakin kecil) seiring
dengan bertambahnya komposisi mol Ba dan variasi % mol dopan La. Parameter
kisi BST dan BSLT menggunakan penghalusan program GSAS menunjukkan
bahwa lapisan tipis BST dan BSLT mempunyai struktur tetragonal. Dari analisa
SEM-EDX, seiring dengan bertambahnya variasi komposisi mol Ba dan variasi %
mol dopan La tidak mempengaruhi ketebalan dan komposisi unsur-unsur
penyusunnya, tetapi mempengaruhi ukuran butir lapisan tipis. Semakin besar
parameter tersebut menyebabkan ukuran butirnya menjadi kecil. Hasil
karakterisasi XRD dan SEM-EDX menampilkan bahwa lapisan tipis BST dan
BSLT telah terdeposisi di atas substrat Pt/Si.
Kata Kunci : BST, BSLT, sol gel, spin coating, parameter kisi, XRD, SEM
×
Penulis Utama
:
Lia Setyaningsih
Penulis Tambahan
:
-
NIM / NIP
:
M0208041
Tahun
:
2012
Judul
:
Analisis Pengaruh Variasi Dopan Lantanum Terhadap Struktur Kristal Dan Morfologi Lapisan Tipis Barium Strontium Titanat
