Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Zirconium Titanat Dengan Variasi Mol X Pada Bazrxti1-Xo3  Menggunakan Metode Sol Gel

Hadiati, Soka

× Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui pengaruh variasi persen mol Zr dan Ti terhadap struktur kristal, ukuran partikel, morfologi, ketebalan, ukuran butir dan sifat listrik dari lapisan tipis BaZrxTi1-xO3; serta mengetahui pengaruh variasi suhu annealing terhadap struktur kristal, ukuran partikel, morfologi, ketebalan, ukuran butir dan sifat ferroelektrik dari lapisan tipis BaZrxTi1-xO3. Penumbuhan lapisan tipis BZT di atas substrat Pt/Si telah berhasil dibuat dengan variasi komposisi persen mol Zr dan Ti: 5/95, 10/90, 15/85, dan 20/80 dengan variasi suhu 800oC dan 900 oC, dan holding time 3 jam menggunakan metode sol gel yang disiapkan dengan spin coater. Karakterisasi yang dilakukan meliputi karakterisasi strukur kristal dan ukuran partikel dengan XRD, morfologi, ukuran butir serta ketebalan lapisan tipis dengan SEM, dan sifat ferroelektrik dengan metode Sawyer Tower. Hasil karakterisasi menunjukkan lapisan tipis BZT memiliki struktur kristal tetragonal. Seiring bertambahnya komposisi persen mol Zr, maka sudut difraksi semakin kecil (bergeser ke kiri) sehingga parameter kisi , ukuran partikel, dan ketebalan semakin besar, serta ukuran butir semakin kecil. Berdasarkan uji sifat ferroelektrik semua material bersifat ferroelektrik yang ditandai dengan terbentuknya kurva histerisis. Bertambahnya persen mol Zr polarisasi spontan (Ps) tetap, polarisasi remanen (Pr) dan medan koersif (Ec) semakin kecil. Pada variasi suhu annealing, penambahan suhu menyebabkan parameter kisi, ukuran partikel ukuran butir dan ketebalan semakin besar. Berdasarkan uji sifat ferroelektrik, seiring penambahan suhu annealing maka maka polarisasi spontan (Ps), polarisasi remanen (Pr) dan medan koersif (Ec) semakin kecil.

×

Penulis Utama	:	Soka Hadiati
Penulis Tambahan	:	1. 2.
NIM / NIP	:	S911102005
Tahun	:	2014
Judul	:	Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Zirconium Titanat Dengan Variasi Mol X Pada Bazrxti1-Xo3 Menggunakan Metode Sol Gel
Edisi	:
Imprint	:	Surakarta - Pascasarjana - 2014
Program Studi	:	S-2 Ilmu Fisika
Kolasi	:
Sumber	:	UNS-Pascasarjana Prodi. Ilmu Fisika-S.911102005-2014
Kata Kunci	:
Jenis Dokumen	:	Tesis
ISSN	:
ISBN	:
Link DOI / Jurnal	:	-
Status	:	Public
Pembimbing	:	1. Dr. Yofentina Iriani, M.Si. 2. Prof. Ir. Ari Handono Ramelan, M.Sc.(Hons) Ph.D.
Penguji	:
Catatan Umum	:
Fakultas	:	Sekolah Pascasarjana

×

File	:	Harus menjadi member dan login terlebih dahulu untuk bisa download.