Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui: 1) karakteristik modul IPATerpadu berbasis inkuiri terbimbing untuk meningkatkan keterampilan prosessains siswa dengan tema air limbah rumah tangga dapat digunakan sebagaisumber belajar siswa di SMP; 2) kelayakan modul IPA Terpadu berbasis inkuiriterbimbing untuk meningkatkan keterampilan proses sains siswa dengan tema airlimbah rumah tangga; 3) efektivitas modul IPA Terpadu berbasis inkuiriterbimbing untuk meningkatkan keterampilan proses sains siswa.Penelitian pengembangan modul IPA Terpadu ini menggunakan prosedurBorg and Gall yang dimodifikasi yang terdiri 7 tahap yaitu: 1) Penelitianpendahuluan dan pengumpulan informasi (research and information collecting),2) Perencanaan (planning), 3) Pengembangan bentuk produk awal (developpreliminary from of product), 4) Uji coba kelompok kecil (preliminary fieldtesting), 5) Revisi terhadap produk utama (main product revision), 6) Uji cobapemakaian produk (main field testing), 7) Revisi terhadap produk akhir (finalproduct revision). Keseluruhan tahapan tersebut telah dilakukan sehingga datayang diperoleh dianalisis lebih lanjut. Analisis data yang digunakan selamapengembangan adalah analisis deskriptif, analisis kelayakan modul berdasarkanskor kriteria, dan analisis tes keterampilan proses sains melalui t-test.Hasil penelitian disimpulkan bahwa: 1) modul IPA Terpadu berbasis inkuiriterbimbing dengan tema air limbah rumah tangga yang telah dikembangkanmemiliki karakteristik: a) modul yang utuh, berdiri sendiri; b) materi IPA Terpadubersifat holistik, bermakna, dan aktif dengan sintaks pembelajaran berbasisinkuiri terbimbing untuk meningkatkan keterampilan proses sains. 2) modul IPATerpadu yang dikembangkan termasuk dalam kategori sangat baik ditinjau darikelayakan kualitas isi/materi, relevansi dan kredibilitas buku sumber, kesesuaianinkuiri terbimbing dalam memberdayaan keterampilan proses sains siswa,kesesuaian basis inkuiri terbimbing, kualitas metode penyajian, penggunaanilustrasi, kelengkapan bahan penunjang, penyajian pembelajaran, kegrafikan, dantampilan umum, 3) modul IPA Terpadu berbasis inkuiri terbimbing dengan temaair limbah rumah tangga efektif meningkatkan keterampilan proses sainsberdasarkan hasil N-gain score sebesar 0,40 yang menunjukkan kategori sedang.Kata kunci: modul IPA Terpadu, inkuiri terbimbing, keterampilan proses sains,air limbah rumah tangga