Pembuatan material semikonduktor zinc oxide (ZnO) didoping copper (Cu) bertujuan mendapatkan material semikonduktor tipe-p ZnO1-xCuxO yang baik untuk modul termoelektrik telah berhasil dibuat. Material zinc nitrate tetrahydrate dan copper nitrate trihydrate merupakan material awal yang kemudian digabungkan melalui proses percampuran serbuk dalam larutan dengan kadar Cu yang bervariasi 0%, 2%, 4%, 6% dan 8% mol. Selanjutnya, larutan tersebut dikeringkan, dikalsinasi dan dikompaksi menjadi bentuk pellet. Pellet tersebut disintering dengan temperatur 1300oC. Hasil pengujian karakteristik ZnxCu1-xO menunjukkan material dengan kandungan Cu 2% mol dan pengujian pada temperatur operasional 450oC menghasilkan nilai figure of merit yang terbesar yaitu 0,55 karena memiliki nilai hole carrier concentration yang paling optimal dengan nilai konduktivitas listrik 3514 S/m, konduktivitas termal 1,56 W/mK, dan koefisien seebeck 615,3 µV/K. Besarnya kandungan material doping mempengaruhi besarnya nilai karakteristik dari material semikonduktor ZnxCu1-xO untuk modul termoelektrik.
Kata Kunci: Material Semikonduktor Tipe-p, Termoelektrik Material Oksida, ZnO doping Cu