Penelitian ini bertujuan untuk: (1) mendeskripsikan karakteristik modul fisika melalui pendekatan Keterampilan Proses Sains hasil pengembangan (2) menganalisis kelayakan modul fisika melalui pendekatan Keterampilan Proses Sains yang dikembangkan (3) efektivitas modul fisika melalui pendekatan keterampilan proses sains untuk meningkatkan kemampuan berpikir kreatif dan hasil belajar siswa kelas X SMA. Metode penelitian ini merupakan Research and Development (R&D), Pengembangan dilakukan dengan mengacu pada model 4-D dengan tahapan Define, Design, Develop, dan Disseminate yang dikemukakan oleh Thiagarajan. Instrumen yang digunakan adalah angket, lembar observasi, dan tes. Uji lapangan operasional menggunakan one group pretest-posttest design. Analisis data yang digunakan pada tahap define adalah analisis data deskriptif, pada tahap design dengan analisis KD, pada tahap develop untuk data hasil validasi modul menggunakan nilai cut off yang dikonversi menjadi kategori kualitas dengan pedoman skor skala 4 dan data kemampuan berpikir kreatif (hasil belajar kognitif) menggunakan uji t berpasangan dan dihitung dengan n-gain ternormalisasi, dan pada tahap disseminate menggunakan nilai cut off yang dikonversi menjadi kategori kualitas dengan pedoman skor skala 4. Hasil penelitian ini adalah (1) modul fisika dengan pendekatan keterampilan proses sains pada materi listrik dinamis dikembangkan menggunakan komponen pembelajaran dengan pendekatan keterampilan proses sains dengan menggunakan model 4-D meliputi Define, Design, Develop, dan Disseminate, (2) modul dikategorikan layak dengan hasil perhitungan (ahli materi, ahli media, guru, teman sejawat) yang menunjukkan nilai rata-rata 102 > cut off 78. Serta didukung dengan respon baik dari siswa dan hasil disseminate yang diserahkan pada 5 guru yang mengkategorikan modul baik, dan (3) efektivitas modul fisika dengan pendekatan keterampilan proses sains pada materi listrik dinamis dapat meningkatkan kemampuan berpikir kreatif (hasil belajar kognitif) siswa dengan nilai N-Gain sebesar 0,7 diategorikan “Sedang”. Kata Kunci: modul fisika dengan pendekatan keterampilan proses sains, kelayakan modul, kemampuan berpikir kreatif.