Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui kontribusi ability, integrity danbenevolence dalam membentuk kepercayaan muzakki pada Badan Amil ZakatNasional (BAZNAS) Karanganyar. Penelitian ini merupakan penelitian kuantitatifdengan menggunakan desain penelitian konfirmatori. Responden dalam penelitianini adalah berjumlah 105 orang yang merupakan muzakki di BAZNASKaranganyar. Analisis yang digunakan dalam penelitian ini adalah analisisstructural equation modeling (SEM). Hasil uji validitas dan reliabilitasmenunjukan hasil valid dengan faktor loading (0.8-0.9) ≥ 0.5, dan reliabilitas nilaiCR > 0.7 pada semua variabel. Dari hasil estimasi model diperoleh bahwavariabel laten eksogen yang paling berpengaruh terhadap variabel laten endogenadalah variabel ability yang memiliki nilai 1.02. Dari hasil uji kebaikan modelgoodness of fits diperoleh keterangan 3 kriteria yang menunjukan keterangan fityaitu CFI, NFI dan RMSEA dengan nilai masing-masing yaitu CFI = 0,99, NFI =0,98 dan RMSEA = 0,071. Sedangkan 1 kriteria lainnya yaitu probability tetaptidak fit. Kemudian, berdasarkan hasil uji hipotesis diperoleh kesimpulan bahwasemua variabel yaitu ability (sig 11.22 > 1.96), benevolence (sig 11.63 > 1.96) danintegrity (sig 11.51 > 1.96) berpengaruh positif secara signifikan dalammembentuk kepercayaan muzakki dalam berzakat.Kata kunci : Ability, Benevolence, Integrity, Kepercayaan