ABSTRAK

Lapisan Tipis Barium Titanat (BaTiO3) telahdibuat menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) di atas substrat Pt/Si dengan memakai spin coater. Variasi % mol doping Sr dan Zr yaitu sebesar  1%,  2%, 3%, 4% dan 5%. Lapisan  tipis  BST  dan  BZT  dikarakterisasi menggunakan X-Ray  Difraction (XRD), Scanning Electron   Microscopy (SEM) serta pengujian kurva histerisis menggunakan  metode  sawyer  tower.  Sudut  difraksi  (2?)  pada  kurva  XRD bergeser ke kanan (semakin besar) seiring dengan bertambahnya % mol doping Sr dan bergeser ke kiri (semakin besar) seiring dengan bertambahnya % mol doping Zr. Parameter kisi BST dan BZT menggunakan penghalusan   program   GSAS menunjukkan bahwa lapisan tipis BST dan BZT mempunyai struktur tetragonal. Dari analisa SEM, seiring dengan bertambahnya variasi % mol  doping Sr dan Zr tidak   mempengaruhi   ketebalan,   tetapi   mempengaruhi   ukuran   butir   lapisan tipis. Lapisan tipis BST dan BZT merupakan bahan feroelektrik dimana telah terbentuk kurva histerisis. Hasil karakterisasi menunjukkan  bahwa  lapisan  tipis BST  dan BZT telah terdeposisi di atas substrat Pt/Si.

Kata Kunci : BT, BST, BZT,CSD,  XRD, SEM, sawyer tower