ABSTRAK

Porous silicon (PSi) telah berhasil dibuat di atas permukaan Si(100) tipe-n menggunakan metode anodisasi elektrokimia. Variasi alkohol yakni metanol, etanol dan propanol ditambahkan pada larutan etching. Variasi kuat arus dilakukan pada 10 mA, 20 mA, 30 mA, 40 mA dan 50 mA untuk setiap alkohol dengan waktu etching 30 menit. PSi dikarakterisasi UV-Vis Spektrofotometer untuk mengetahui reflektansi, SEM untuk mengetahui sebaran pori dan ukuran diameter pori, serta dektak profilometer untuk menghitung kedalaman pori. Nilai reflektansi PSi untuk semua jenis alkohol menurun relatif terhadap silikon tanpa pori. Hal ini menunjukkan PSi dapat digunakan sebagai bahan anti refleksi. Ukuran diameter dan kedalaman pori meningkat dengan pertambahan rapat arus. Ukuran diameter dan kedalaman pori juga meningkat secara berurutan dari metanol, etanol sampai propanol. Hal ini dikarenakan jumlah atom karbon dalam alkohol mampu menurunkan tegangan permukaan silikon.

Kata kunci : Porous silicon (PSi), anodisasi elektrokimia, alkohol, anti refleksi