Tujuan penelitian ini untukmengetahui  karakteristik, kelayakan, dan efektifitas penggunaan modul IPA berbasis  inquiry terbimbing dengan penekanan berpikir kritis dan kreatif pada tema sifat dan perubahan fisika zat. Penelitian pengembangan ini  menggunakan   Model R & D model siklus 4-D yang  dikemukakan  oleh Thiagarajan  dengan langkah-langkahnya  yaitu  Define, Design, Development, dan Dissemination. Penelitian diawali dengan studi pustaka dan  observasi   lapangan   selanjutnya   menyusun   draft  - 1  modul.  Draft  modul divalidasi oleh ahli materi dan teman sejawat kemudian direvisi menjadi draft- 2. Selanjutnya  diujicobakan  secara  terbatas  dan  direvisi  menjadi  draft-.  Draft- 3 modul diujicobakan pada kelompok besar di kelas VII SMP Al Islam Surakarta. Uji   coba   kelompok   besar   diawali   dengan   pretest   dan   setelah   dilakukan pembelajaran  menggunakan  modul  kemudian  diakhiri  dengan  postest.  Materi modul yaitu  perubahan wujud zat kelas VII SMP . Sampel penelitian  yaitu kelas VII  di  SMP  Al  Islam  Surakarta .  Instrumen  yang  digunakan  angket,  lembar observasi, dan tes. Teknik Analisis penelitian yaitu analisis digunakan adalah deskriptif,  analisis  kelayakan  modul  berdasarkan  skor kriteria , dan analisis tes kemampuan berpikir dengan uji t-paired sampel dan pretes-postest. Hasil penelitian dan pengembangan disimpulkan bahwa: 1) Karakteristik pengembangan  Modul IPA Terpadu Berbasis   Inquiry Terbimbing  yaitu modul mengandung serentetan pertanyaan, materi, evaluasi, dan uji kompetensi yang dilengkapi  gambar,  2) Modul IPA Terpadu  berbasis  Inquiry Terbimbing materi Perubahan Wujud Benda memenuhi kriteria sangat baik pada aspek materi. Hal ini   ditunjukkan   pada   kesesuaian   materi   dengan   standar   kompetensi   dan kompetensi  dasar,  kesesuaian  materi  dengan  tujuan  pembelajaran,  kemudahan materi dipahami oleh siswa, 3) modul IPA Terpadu berbasis  Inquiry Terbimbing efektif digunakan sebagai bahan ajar baru, efektivitas modul didasarkan atas hasil perhitungan N- gain yang ditinjau dari kenaikan hasil tes kognitif dan kemampuan berpikir kritis siswa sebesar 0,73 yang dikategorikan "Tinggi"
Kata  kunci:  Modul  IPA  Terpadu ,  Inquiri  Terbimbing,  Kemampuan  B erpikir
Kritis, K emampuan Berpikir K reatif.