Penelitian ini bertujuan untuk: (1) mengembangkan perangkat pembelajaran Fisika dengan model Creative Problem Solving pada materi Getaran Harmonis yang memenuhi kriteria baik (2) mendeskripsikan spesifikasi perangkat pembelajaran Fisika dengan model Creative Problem Solving pada materi Getaran Harmonis yang dikembangkan. Metode penelitian yang digunakan mengacu pada model ADDIE yang dalam penelitian ini dilakukan tiga tahapan yaitu Analysis (Analisis), Design (Desain), dan Development (Pengembangan). Jenis data yang diperoleh adalah data kualitatif dan data kuantitatif.  Sumber data berasal dari 2 orang ahli, 3 orang guru fisika SMA, 3 orang teman sejawat, dan 111 orang siswa. Ahli merupakan dosen pembimbing skripsi. Guru dan siswa berasal dari SMA Al Islam 1 Surakarta, SMA Negeri 2 Sukoharjo, dan SMA Negeri 1 Teras Boyolali. Kesimpulan yang diperoleh dari hasil penelitian ini yaitu (1) Tahap pengembangan perangkat pembelajaran Fisika ada 3, yaitu analisis kebutuhan, desain, dan pengembangan. Perangkat yang dikembangkan terdiri dari RPP, LKPD, Instrumen Penilaian Sikap Ilmiah Siswa, dan Instrumen Penilaian Kognitif.  Perangkat akan memenuhi kriteria baik apabila sudah melalui validasi yang dilakukan oleh ahli. Validasi RPP masuk kategori sangat baik dalam aspek format, isi, dan bahasa dengan persentase sebesar 93,75%. Validasi LKPD masuk kategori sangat baik dalam aspek format, isi, dan bahasa dengan persentase sebesar 92,41%. Validasi instrumen penilaian kognitif yang dikembangkan meliputi aspek materi, konstruksi, dan bahasa dengan total 50 butir soal mendapat tanda centang pada setiap aspek oleh ahli 1 kecuali nomor 2 dan 5 pada aspek konstruksi nomor 1  sedangkan ahli 2 memberikan tanda centang pada setiap aspek sehingga memenuhi kriteria baik. Kemudian dilakukan uji coba pada siswa yang selanjutnya hasil jawaban siswa dianalisis untuk mengetahui kevalidan tiap butir soal dan reliabilitas instrumen lalu didapatkan 47 soal valid dengan reliabilitas sebesar 0,907. Validasi instrumen penilaian sikap ilmiah siswa masuk kategori sangat baik dalam aspek isi, bahasa, dan kesimpulan dengan persentase sebesar 95%. Kemudian instrumen diujicobakan pada siswa yang selanjutnya hasil jawaban siswa dianalisis untuk mengetahui kevalidan tiap butir pernyataan dan reliabilitas instrumen lalu didapatkan 37 pernyataan valid dengan reliabilitas sebesar 0,923. (2) spesifikasi produk pengembangan perangkat pembelajaran ini yaitu: (a) RPP yang dikembangkan ini menggunakan pendekatan saintifik dan model pembelajaran CPS pada setiap pertemuan dalam kegiatan pembelajaran. RPP ini juga memiliki penilaian yaitu instrumen penilaian sikap ilmiah siswa berupa angket dan instrumen penilaian kognitif berupa soal ulangan harian Getaran Harmonis. (b) LKPD yang dikembangkan menggunakan model CPS. LKPD ini terdiri dari 3 macam LKPD dengan metode eksperimen dan 1 macam LKPD dengan metode diskusi kelompok. LKPD yang digunakan alurnya sesuai dengan langkah-langkah pada CPS sehingga siswa aktif dalam pembelajaran. (c) Instrumen penilaian kognitif terdiri dari kisi-kisi, soal tes, dan jawaban soal. Instrumen penilaian kognitif memiliki bank soal sebanyak 47 butir soal valid dengan nilai reliabilitas sebesar 0,907 dengan 25 butir soal dipilih sesuai dengan indikator pada kisi-kisi yang dijadikan soal evaluasi pada materi Getaran Harmonis. (d) Instrumen penilaian sikap ilmiah siswa yang dikembangkan merupakan modifikasi dari instrumen penilaian sikap ilmiah dari penelitian Marhudin (2011). Instrumen ini terdiri dari kisi-kisi yang mencakup 9 dimensi sikap ilmiah, butir pernyataan dengan 4 pilihan jawaban, dan rubrik penilaian. Instrumen ini memiliki 37 pernyataan valid dimana setiap aspek di instrumen ini memiliki minimal dua pernyataan dengan nilai reliabilitas instrumen sebesar 0,923.

Kata kunci: Pengembangan Perangkat, Creative Problem Solving, Sikap Ilmiah Siswa, Getaran Harmonis