Penumbuhan nanofiber zinc oxide (ZnO) pada substrat silikon berpori dengan metode electrospinning telah berhasil dilakukan. Larutan ZnO dibuat dari campuran zinc acetatehydrat dan prekusor polyvinyl alcohol dengan perbandingan 1:3 %wt. Fiber ZnO yang terbentuk selanjutnya dilakukan variasi suhu annealing pada 100?, 200?, dan 300?. Hasil karakterisasi AFM dan SEM pada sampel menunjukkan adanya penurunan ukuran diameter rata-rata nanofiber seiring kenaikan suhu annealing yaitu 413,12 nm pada sampel tanpa annealing, 344,3 nm pada 100?, 265,53 nm pada 200? dan 230,89 nm pada 300?. Hasil spektral ATRFTIR menunjukkan kehadiran gugus ikatan metal oksida yang mengindikasikan bahwa ZnO telah tumbuh pada permukaan silikon berpori. Hasil ini dikonfirmasi dengan pengujian XRD di mana ditemukan keberadaan ZnO dengan struktur heksagonal wurtzite pada bidang orientasi (002) dan (103) sesuai dengan data referensi ICDD 36-1451. Sudut difraksi orientasi (002) dan (103) berubah dengan perubahan temperature annaeling, hal ini menyebabkan ukuran kristalit mengalami perubahan.