Penumbuhan Zinc Oxide (ZnO) nanorods pada substrat Fluorine doped Tin Oxide (FTO), silikon, dan silikon berpori dengan variasi waktu hidrotermal telah berhasil dilakukan. Larutan penumbuhan ZnO nanorods dibuat menggunakan campuran zinc nitrate hexahydrate (Zn(NO3)2.6H2O) 0,05 M dengan Hexamethylenetetramine (C6H12N4) 0,25 M. Proses penumbuhan pada substrat dilakukan pada suhu 90?C selama 1, 2, 4 dan 6 jam yang kemudian dipanaskan pada suhu 450?C selama 30 menit. Hasil karakterisasi XRD menunjukkan bahwa ditemukan keberadaan ZnO yang memiliki struktur hexagonal wurtzite sesuai data JCPDS No. 89-1397. Seiring bertambahnya waktu hidrotermal, ukuran kristal ZnO nanorods semakin meningkat. Pada substrat FTO ukuran kristal ZnO dari 45,7107 sampai dengan 55,0799 nm. Hal serupa juga ditunjukkan pada substrat silikon berpori, ukuran kristal juga meningkat dari 11,849 nm hingga 37,9625 nm. Namun, pada substrat silikon ukuran kristal ZnO mengalami penurunan pada waktu hidrotermal 4 jam. Hasil karakterisasi SEM menunjukkan morfologi ZnO nanorods berbentuk urchin-like pada subtrat FTO dan berbentuk flower-like pada substrat silikon. Sedangkan penumbuhan ZnO pada silikon berpori terlihat belum homogen dan banyak partikel yang beraglomerasi. Hasil spektral ATR-FTIR menunjukkan kehadiran gugus ikatan Zn-O stretching, COOZn, dan Si-O-Zn yang mengindikasikan bahwa ZnO telah berhasil tumbuh pada permukaan substrat.