Mesin CNC (Computer Numerical Control) berbasis Plasma Scanning Probe merupakan inovasi dalam pendeteksian konduktivitas dan resistansi bahan semikonduktor menggunakan teknologi plasma. Salah satu tantangan utama dalam sistem ini adalah menganalisis efektivitas penggunaan tegangan pada igniter booster high voltage (HV) generator yang beroperasi pada 20 kV, serta mengontrol pergerakan mesin CNC dengan tiga sumbu (3-axis control). Untuk mengatasi tantangan tersebut, penelitian ini merancang dan membangun sistem CNC terintegrasi yang dapat dikontrol secara manual maupun otomatis, serta sistem monitoring Plasma Scanning Probe untuk mengukur efektivitas rancang bangun yang telah dibuat. Universal G-Code Sender digunakan sebagai firmware untuk mengontrol pergerakan motor stepper12 V, yang terhubung dengan mikrokontroler sebagai pusat komunikasi kontrol, sehingga tidak memerlukan komputer dalam pengoperasiannya. Sementara, sistem monitoring Scanning Probe berbasis Plasma menggunakan sistem monitoring sendiri berbasis mikrokontroler dan data logger. Diketahui Plasma yang dihasilkan memilii arus bolak-balik (AC), sehingga digunakanlah sensor WCS1700 dengan penguat non-inverting amplifier untuk hasil yang akurat. Selain itu, sensor ZMCT103C serta tegangan menggunakan rangkaian voltage divider juga digunakan sebagai pembanding pengukuran arus penelitian sebelumnya. Hasil penelitian diharapakan dapat menyelesaikan sistem rancang bangun dan menguji kefektivitas beserta pembuktian teori perhitungan dengan pengujian alat dari Tegangan dan arus Scanning Probe berbasis plasma.