Perkembangan teknologi industri pada saat ini mengalami perkembangan pada tingkat teknologi nano, memiliki kemampuan yang sama dengan peralatan besar, akan tetapi daya dan ukuran lebih kecil. Teknologi nano dapat dicapai dengan menggunakan plasma dalam pengimplementasiannya dalam skala nano. Plasma merupakan bentuk massa setelah gas, ketika gas diberikan energi sehingga gas akan terionisasi atau bermuatan. Proses penghasilan plasma membutuhkan energi ionisasi sehingga dilakukan Analisa plasma menggunakan alat uji yang terdiri dari Ozon Plasma Generator, MQ-131 Gas Ozon Sensor, PZEM-004T sensor daya, DHT22 sensor suhu ruang dan kelembapan. MLX-90614 sensor temperatur inframerah, Arduino Mega 2560. Kemudian, dilakukan pengujian dengan menggunakan alat dan osiloskop Instrustar LSDS205A didapatkan energi ionisasi dengan energi tertinggi pada 2.8×10-14 Joule dan energi terendah pada 0 Joule.

Kata Kunci: plasma, energi, ionisasi, teknologi nano