Salah satu keterbatasan di sekolah yaitu pada bahan ajar yang mengakibatkan siswa membeli dan mencari diluar. Guru belum menggunakan bahan ajar berbasis inkuiri terbimbing. Tujuan penelitian untuk: (1) mendeskripsikan karakteristik modul fisika berbasis inkuiri terbimbing. (2) memperoleh modul fisika berbasis inkuiri terbimbing yang telah memenuhi kriteria layak. (3) mengetahui penggunaan modul fisika berbasis inkuiri terbimbing dapat meningkatkan kemampuan berpikir kritis pada siswa.
Penelitian ini merupakan penelitian Research and Development. Model pengembangan modul ini yang digunakan adalah model 4D (four D model). Keempat tahapan ini tersebut adalah Define, Design, Develop, dan Disseminate yang dikemukakan oleh Thiagarajan. Analisis data yang digunakan pada tahap define adalah analisis data deskriptif, pada tahap design adalah analisis SK dan KD untuk menentukan desain awal modul. Pada tahap develop untuk data hasil validasi modul menggunakan nilai cut off yang dikonversi menjadi kategori kualitas dengan pedoman skor skala 5 dan data kemampuan berpikir kritis dihitung menggunakan gain ternormalisasi, dan pada tahap disseminate menggunakan presentase yang dikonversi menjadi kategori kualitas dengan pedoman skor skala 5. Pengembangan modul ini dinilai berdasarkan kelayakan materi, media dan uji coba (uji coba awal dan uji coba besar). Modul disusun berdasarkan langkah-langkah pembelajaran inkuiri terbimbing yaitu orientasi, merumuskan masalah, merumuskan hipotesis, mengumpulkan data, menguji hipotesis, dan merumuskan kesimpulan. Pengumpulan data penelitian menggunakan analisis kebutuhan (guru dan siswa), lembar validasi, angket respon siswa, dan soal tes kemampuan berpikir kritis.
Hasil penelitian sebagai berikut: (1) modul fisika berbasis inkuiri terbimbing untuk meningkatkan kemampuan berpikir kritis siswa memiliki ciri yaitu langkah pembelajaran pada modul disesuaikan dengan langkah pembelajaran berbasis inkuiri terbimbing, mengintegrasi kemampuan berpikir kritis pada setiap tahapnya. (2) modul dikategorikan layak karena telah melalui uji kelayakan (materi, media, bahasa, guru, dan teman sejawat) dan didukung oleh perhitungan cut off sebesar 91,96 > 90,82 yang menyatakan bahwa modul dikategorikan layak. (3) penggunaan modul fisika berbasis inkuiri terbimbing dapat meningkatkan kemampuan berpikir kritis siswa, didukung dari hasil perhitungan N-gain menunjukkan nilai 0,55 dan dalam kategori sedang.
Kata Kunci: Modul Fisika, Inkuiri Terbimbing, Kemampuan Berpikir Kritis.