Modul fisika berbasis inkuiri terbimbing pada materi fluida dinamis perludikembangkan untuk meningkatkan kemampuan berpikir kritis siswa. Penelitianpengembangan ini bertujuan untuk: (1) mendeskripsikan karakteristik modulfisika berbasis inkuiri terbimbing pada materi fluida dinamis, (2) memperolehmodul fisika berbasis inkuiri terbimbing pada materi fluida dinamis yang telahmemenuhi kriteria kelayakan, (3) mengetahui peningkatan kemampuan berpikirkritis siswa setelah mengikuti pembelajaran menggunakan modul fisika berbasisinkuiri terbimbing hasil pengembangan.Penelitian ini merupakan Research and Development (R&D) denganmengacu model 4-D (four D model) yang dikemukakan oleh Thiagarajan (1974).Modul disusun dengan tahapan inkuiri terbimbing yang terdiri dari merumuskanmasalah, merumuskan hipotesis, mengumpulkan data, menguji hipotesis, danmenyimpulkan. Selain itu, modul juga dilengkapi dengan kemampuan berpikirkritis. Modul ini dinilai berdasarkan kelayakan isi, bahasa, penyajian, dankegrafikan, serta uji coba kelas kecil dan kelas besar pada siswa, dan tahappenyebaran kepada guru fisika. Pengumpulan data penelitian menggunakanangket, pedoman observasi, wawancara analisis kebutuhan, lembar validasi, teskemampuan berpikir kritis, angket psikomotorik, angket afektif, angket respon,dan angket disseminate. Analisis data yang digunakan pada tahap define adalahanalisis data deskriptif, pada tahap design dengan analisis data kualitatif, padatahap develop untuk data validasi modul menggunakan nilai cut off dan datakemampuan berpikir kritis siswa dianalisis menggunakan uji t berpasangan dandihitung dengan N-Gain ternormalisasi, dan pada tahap disseminate menggunakananalisis data deskriptif yang dikonversi menjadi kategori kualitas dengan skala 3.Hasil penelitian ini adalah: (1) karakteristik modul fisika yangdikembangkan memuat tahapan inkuiri terbimbing pada setiap kegiatan belajardisertai dengan komponen kemampuan berpikir kritis yang terdapat pada soalevaluasi; (2) modul dikategorikan layak berdasarkan ahli materi, ahli media, gurufisika, dan peer review yang ditunjukkan dengan nilai rata-rata 82,92 lebih besardari nilai minimum kelayakan 81,57. Serta didukung dengan respon baik darisiswa dan hasil disseminate yang mengkategorikan modul sangat baik; (3)kemampuan berpikir kritis siswa setelah mengikuti proses pembelajaranmenggunakan modul fisika berbasis inkuiri terbimbing materi fluida dinamismengalami peningkatan dalam kategori sedang dengan N-gain sebesar 0,65, untukaspek membuat inferensi mengalami peningkatan tertinggi sedangkan untukpeningkatan terendah pada aspek mengatur strategi dan teknik.Kata kunci: modul fisika berbasis inkuiri terbimbing, kualitas modul,kemampuan berpikir kritis.